特点• 分辨率/重复精度为0.1/0.5μm 时,精度可高达(1.3+0.6L/600)μm。• 确保垂直度(前部) 达6μm,直线度达4μm。• 全/半空气浮动系统可调节气垫。• 带有基本统计功能, 另外,通过RS-232C数据输出与带有SPC 软件的电脑相连,可实现外部测量数据评估。• 半自动测量时具有单键操作功能