B.主要技术指标：
1、测量原理： 触针法、电感传感器
2、测量范围：垂直20mm，水平100mm
3、测量精度：垂直0.3%，水平0.03%
4、垂直分辨力：0.25μm/4mm,1.25μm/20mm
5、水平分辨力：1μm
6、测量参数：垂直距离，水平距离，两直线夹角，圆弧半径，倒角宽度，圆心-端面、圆心-圆心、直线交点-直线交点、点-直线距离
7、水平放大倍率：2，5，10，20，50，100，200，500
8、垂直放大倍率：10，20，50，100，200，500，1000，2000
9、驱动速度：0.1,0.2,0.5,0.8,1mm/s
10、返回速度：1.5mm/s
11、基准导轨的直线性：1μm/任意40mm
12、立柱结构：滚动丝杠升降系统，快慢速机动升降，自动对准零点
13、立柱垂直测量高度：240mm
14、工作底台：400×600mm大理石平台
15、传感器测杆长：150mm
16、测针长度：22mm
17、针尖角度：11°
18、针尖半径：25μm
19、测力：0.02-0.06N
20、传感器滑行角度：上升角≤77 °，下降角≤88° |
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